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* GPS Fuente de alta tensión para cañón y evaporadoras con control de flujo

GPS es una fuente de alimentación múltiple para operar con cañones de electrones o evaporadoras, aunque la característica clave de este equipo es el control automático de flujo.

El control automático de flujo reemplaza de necesidad de un monitor de espesores de cuarzo mediante la monitorización continua de la evaporación, midiendo el flujo directamente, el cual es un parámetro de ajuste mucho más preciso y rápido, que los métodos indirectos, como por ejemplo la medida de temperatura.

A una corriente de emisión de electrones y una energía del haz dada, el flujo de iones medido es directamente proporcional al flujo de átomos evaporados.
La entrada del monitor de flujo de GPS cubre 6 órdenes de magnitud (200nA a 20mA) y el flujo puede mantenerse constante gracias al circuito automático de control, de esta manera la cantidad de deposición puede ajustarse, ya que esta se define como el producto de la corriente del monitor de flujo y el tiempo de evaporación.

Todos los parámetros y ajustes de la fuente GPS pueden visualizarse en los medidores del frontal, así es posible monitorizar simultáneamente la corriente de filamento, la corriente de emisión y la corriente de flujo así como la energía del haz.

La fuente para el ánodo suministra una tensión ajustable entre 0 y 2000V, con una corriente máxima de 30mA, mientras que la fuente de corriente constante para filamento puede suministrar entre 0 y 6A, con una tensión máxima de 11V.
La corriente máxima puede fijarse para proteger el filamento de sobrecalentamientos, la corriente de emisión y la energía de haz también disponen de este ajuste de niveles máximos

GPS permite tres modos de funcionamiento seleccionables manualmente:
• Modo manual
En este modo se podrá ajustar de forma independiente la corriente de filamento y la alta tensión que fija la energía del haz, mientras, en los medidores se podrá monitorizar tanto la corriente de emisión como la corriente de flujo obtenida.
• Modo corriente de emisión:
En este modo de funcionamiento, la tensión de salida se sigue controlando con el ajuste de energía del haz, pero GPS ajustará automáticamente la corriente aplicada al filamento, para mantener la corriente de emisión constante al valor que hemos seleccionado.
• Modo corriente de flujo:
El control de la fuente se realiza con los ajuste de flujo y emisión. Con el de flujo, seleccionamos el valor de corriente de flujo que deseamos y la fuente ajustará el valor de la tensión de salida para que circule el flujo seleccionado. El funcionamiento de la corriente de emisión y filamento será el mismo que en el modo corriente.

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