Unidad de Microscopía

Laboratorio de Microscopía Electrónica de Barrido de Emisión de Campo

Laboratorio de Microscopía Electrónica de Barrido de Emisión de Campo Laboratorio de Microscopía Electrónica de Barrido de Emisión de Campo

El microscopio electrónico de barrido de emisión de campo permite la observación y caracterización con muy alta resolución de la superficie de materiales. También es utilizado para la obtención de patrones Nanolitográficos.

Principios de la Técnica

Las imágenes que se obtienen mediante este microscopio, resultan del procesamiento de las señales a que dan lugar las interacciones del haz de electrones (secundarios) con la muestra. Como se mencionó en los principios de la técnica de Microscopia de barrido, estos electrones dan información detallada de la morfología superficial de la muestra.
En este microscopio, el filamento emisor de los electrones es más fino que los utilizados en microscopia clásica convencional lo que permite que el haz tenga menor diámetro, siendo capaces de diferenciar puntos que estén muy próximos. Asimismo, la intensidad de corriente en el filamento es unas cinco veces mayor que la de un SEM convencional lo que hace que la cantidad de señal recogida por el detector sea también mucho mayor. De esta forma, esta microscopia brinda mayor y mejor resolución en las imágenes que se obtienen.
Este tipo de microscopio se utiliza también para la fabricación de patrones litográficos a escala nanométrica. En este caso, el microscopio es controlado por un programa de Nanolitografía acoplado a un ordenador, que permite reproducir sobre una muestra recubierta con resina, el patrón previamente diseñado. Esta resina es sensible a los electrones y deja ver los motivos litografiados tras un proceso de revelado.

Aplicaciones
  • Ciencia de Materiales: estudio de superficies y morfología en semiconductores, nanotubos, membranas, cerámicas, aleaciones, etc.
  • Control de Calidad: Seguimiento de procesos estructurales.
  • Diseño de patrones para Nanolitografía.
Tipo ensayo

Estudio de superficie de las muestras que puedan entrar en la cámara del microscopio:

  • Estudio morfológico de diferentes tipos de muestras secas.
  • Estudio de superficies y tamaño de grano.
  • Realización de diseños y plantillas mediante Nanolitografía.
  • Medida de perfiles de crecimiento de películas delgadas.

 

Funcionamiento del Servicio

Condiciones generales y especificas de las muestras:
Depende del tipo de muestra, pero han de ser sólidos secos. Han de cumplir las especificaciones que aparecen en la solicitud de ensayo.

Formato de los resultados:
Las imágenes deseadas se pueden llevar guardadas en formato *.tif.

Forma de solicitar las sesiones:
Ponerse en contacto con el S.I.d.I. o con el propio laboratorio para acceder a una sesión de microscopía.
Las muestras deben ir acompañadas de la solicitud de ensayo generada en @LIMS
El usuario debe ponerse en contacto con el laboratorio ANTES de rellenar la solicitud de ensayo