Equipo de emisión de campo preparado para el diseño y realización de nanolitografía .
- Ultra alta resolución, Litografía por haz de electrones, Imágenes y Nanoingenieria
- Resolución de1 nm en XY a cualquier distancia de trabajo y tamaño de campo de escritura
- El equipo incorpora un detector de SE, detectores SE y BSE inlens, así como un analizador EDX, Quantax EDS, modelo XFlash 6I30 de Bruker.
Este equipamiento es parte del proyecto de I+D+i ayuda EQC2021-007091-P, financiado por MCIN/AEI/10.13039/501100011033 y por la Unión Europea NextGenerationEU/PRTR.
- Laboratorio
- Laboratorio de Microscopía Electrónica de Barrido
- Unidad de análisis
